近日，由我校等單位共同主辦的第五屆微制造、微機(jī)電系統(tǒng)和物聯(lián)網(wǎng)國際研討會在西安金花豪生國際大酒店舉辦，會議在線上進(jìn)行同步直播。有“日本微機(jī)電系統(tǒng)之父”之稱的日本立命館大學(xué)杉山進(jìn)教授、日本早稻田大學(xué)水野俊教授出席本次研討會，我校機(jī)電工程學(xué)院李晨副教授、3名碩士研究生分別作了線下報告及英文會議報告，機(jī)電學(xué)院百余名研究生線上參加了本次研討會。
本次研討會由西安交通大學(xué)、陜西科技大學(xué)、微納米制造與測試技術(shù)國際合作聯(lián)合實驗室主辦。研討會開幕式由西安交通大學(xué)前田龍?zhí)山淌谥鞒?。他代表研討會主辦方對參會的各位專家學(xué)者和各界朋友表示熱烈歡迎，對陜西科技大學(xué)、西安交通大學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)研究團(tuán)隊的支持表示感謝，希望通過本次會議帶來最新的微機(jī)電系統(tǒng)學(xué)術(shù)發(fā)展前沿，促進(jìn)兩校的交流與合作。
會議邀請了國際和國內(nèi)著名專家學(xué)者作大會主題報告。杉山進(jìn)作了《基于壓阻效應(yīng)的機(jī)械傳感器研究路線》的線上報告，介紹了日本MEMS傳感器的40年發(fā)展歷史與前沿技術(shù)。水野俊作了《薄Pt中間層低溫Cu-Cu鍵合技術(shù)》的線上報告，介紹了通過細(xì)化中間層薄Pt實現(xiàn)了Cu-Cu直接鍵合技術(shù)。西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院方續(xù)東副教授作了《第三代半導(dǎo)體SiC材料在MEMS傳感器的應(yīng)用》的線下報告，介紹了基于SiC材料的MEMS傳感器設(shè)計與制造工藝的最新進(jìn)展。我校機(jī)電學(xué)院李晨副教授作了《飛秒激光在固體表面誘導(dǎo)周期性微納結(jié)構(gòu)的形成機(jī)理及應(yīng)用進(jìn)展》的線下報告，介紹了飛秒激光加工機(jī)理及其在生物醫(yī)療、微流控領(lǐng)域的研究進(jìn)展。
會議還邀請了西安交通大學(xué)、陜西科技大學(xué)6名研究生作英文會議報告。我校機(jī)電學(xué)院2018級碩士研究生徐士浩、楊研偉、馮宇航分別做了微機(jī)電系統(tǒng)方向的英文學(xué)術(shù)報告。會場上，兩所高校的研究生們對感興趣的研究課題進(jìn)行了深入的交流和積極的探討。此次會議的舉辦，進(jìn)一步促進(jìn)了學(xué)校的國際科技交流與合作，對我校微機(jī)電系統(tǒng)方向綜合水平的提升起到了重要的推動作用。
（核稿：夏祥林 編輯：劉倩）
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